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Actualiser Documents/Connexe/Fiche assemblage photolitographie EUV.md

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Stéphan Peccini 2025-05-09 07:38:25 +02:00
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Documents/Connexe/Fiche assemblage photolitographie EUV.md
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@ -28,12 +28,12 @@ Le flux d’assemblage se déroule en 4 grandes phases :
4. **Ré-assemblage & qualification** chez le fondeur (6–9 mois) 4. **Ré-assemblage & qualification** chez le fondeur (6–9 mois)
Les générations : Les générations :
| Plateforme | NA | Débit wafers/h | Commercialisation | | Plateforme | NA | Débit wafers/h | Commercialisation |
| :-- | :--: | :--: | :-- | | :-- | :--: | :--: | :-- |
| **NXE** | 0,33 | 220 | 2019– | | **NXE** | 0,33 | 220 | 2019– |
| **EXE (High-NA)** | 0,55 | 185* | 2024– *(phase R&D)* | | **EXE (High-NA)** | 0,55 | 185* | 2024– *(phase R&D)* |
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