diff --git a/Documents/Connexe/Fiche assemblage photolitographie EUV.md b/Documents/Connexe/Fiche assemblage photolitographie EUV.md index 557546a..163a7d3 100644 --- a/Documents/Connexe/Fiche assemblage photolitographie EUV.md +++ b/Documents/Connexe/Fiche assemblage photolitographie EUV.md @@ -28,12 +28,12 @@ Le flux d’assemblage se déroule en 4 grandes phases : 4. **Ré-assemblage & qualification** chez le fondeur (6–9 mois) Les générations : + | Plateforme | NA | Débit wafers/h | Commercialisation | | :-- | :--: | :--: | :-- | | **NXE** | 0,33 | 220 | 2019– | | **EXE (High-NA)** | 0,55 | 185* | 2024– *(phase R&D)* | ---- ## Composants assemblés