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2f3e577ed4
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0f1bb4888b
@ -1,7 +1,22 @@
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type_fiche: assemblage
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produit: Procédé Deep Ultraviolet
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schema: ProcedeDUV
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version: 1.0
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date: 2025-04-22
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commentaire: Version initiale
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auteur: Stéphan Peccini
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sources_communes:
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- Objectif_final_v0-7.pdf §2 (méthodologie de calcul)
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- …
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# Fiche {{ type_fiche }} {{ produit }}
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# Fiche d’assemblage : Matériels de photolithographie DUV
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| Version | Date | Commentaire |
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| :-- | :-- | :-- |
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| {{ version }} | {{ date }} | {{ commentaire }} |
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## Description générale
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## Présentation synthétique
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Les scanners **DUV** (Deep Ultraviolet – 193 nm ArF immersion / 193 nm ArF sec / 248 nm KrF) couvrent les nœuds **28 nm à 7 nm** (couches critiques) et les niveaux moins exigeants.
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Un ArF immersion de dernière génération (**TWINSCAN NXT:2100i**) compte environ **55 000 pièces**, pèse 115 t et coûte **90 – 140 M€**.
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@ -20,7 +35,6 @@ Le flux d’assemblage s’effectue en 4 phases :
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| **NSR‑S635E (Nikon)** | 193 i | 1,35 | 250 | 2018 – |
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| **FPA‑3030iR (Canon)** | 193 i | 1,35 | 240 | 2019 – |
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## Composants assemblés
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@ -36,21 +50,39 @@ Le flux d’assemblage s’effectue en 4 phases :
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_Coûts indicatifs pour NXT:2100i (2024)._
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## Principaux assembleurs (livraisons 2024)
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```yaml
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Assemblage_ProcedeDUV:
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PaysBas_Assemblage_ProcedeDUV:
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nom_du_pays: Pays-Bas
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part_de_marche: 84%
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acteurs:
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AMSL_PaysBas_Assemblage_ProcedeDUV:
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nom_de_l_acteur: ASML
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||||
part_de_marche: 84%
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pays_d_origine: Pays-Bas
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Japon_Assemblage_ProcedeDUV:
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nom_du_pays: Japon
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part_de_marche: 16%
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||||
acteurs:
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Nikon_Japon_Assemblage_ProcedeDUV:
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nom_de_l_acteur: Nikon
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part_de_marche: 12%
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pays_d_origine: Japon
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Canon_Japon_Assemblage_ProcedeDUV:
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nom_de_l_acteur: Canon
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part_de_marche: 4%
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pays_d_origine: Japon
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```
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## Principaux assembleurs
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<!---- AUTO-BEGIN:TABLEAU-ASSEMBLEURS -->
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| **Pays d'implantation** | **Entreprise** | **Pays d'origine** | **Part de marché** |
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| :-- | :-- | :-- | :-- |
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| Pays‑Bas | ASML | Pays‑Bas | 84 % |
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| **Pays-Bas** | **Total** | **Pays-Bas** | **84 %** |
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| Japon | Nikon | Japon | 12 % |
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| Japon | Canon | Japon | 4 % |
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| **Japon** | **Total** | **Japon** | **16 %** |
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||||
*(cette section sera remplie automatiquement)*
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<!---- AUTO-END:TABLEAU-ASSEMBLEURS -->
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_Total 2024 : ~ 240 DUV scanners (toutes longueurs d’onde) livrés, dont 90 % destinés à la Chine._
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## Contraintes spécifiques
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@ -62,7 +94,6 @@ _Total 2024 : ~ 240 DUV scanners (toutes longueurs d’onde) livrés, dont
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| Export‑control | Aucune restriction stricte sur DUV | Chine peut acheter ArF |
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| Vieillissement laser | Tubes ArF MTTF ≈ 5 Gshots | OPEX source important |
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## Logistique et transport
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@ -71,7 +102,6 @@ _Total 2024 : ~ 240 DUV scanners (toutes longueurs d’onde) livrés, dont
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- Délai porte‑à‑porte : **45 jours** (Europe → États‑Unis ou Japon → Corée)
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- Assurance cargo typique **100 M$** par scanner
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## Durabilité et cycle de vie
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@ -82,7 +112,6 @@ _Total 2024 : ~ 240 DUV scanners (toutes longueurs d’onde) livrés, dont
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| Re‑polissage lentilles | Tous les 50 kpl |
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| Recyclabilité | 75 % masse métallique, CaF₂ recyclage dédié |
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## Matrice des risques
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@ -99,28 +128,10 @@ _Total 2024 : ~ 240 DUV scanners (toutes longueurs d’onde) livrés, dont
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- **R4** : Retards fret aérien / maritime ; 18 caisses hors‑gabarit.
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- **R5** : 84 % des livraisons assurées par un seul acteur (ASML).
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## Indice de Herfindahl-Hirschmann (HHI)
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| **IHH** | **Faible** | **Modéré** | **Élevé** |
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| :-- | :-- | :-- | :-- |
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| **Acteurs** | | | **72** |
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| **Pays** | | **73** | |
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*Acteurs* : ASML 84 %, Nikon 12 %, Canon 4 %
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*Pays* : Pays‑Bas + Japon dominants.
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## En résumé
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- **Trois assembleurs** (ASML, Nikon, Canon) mais **ASML domine** le segment ArF immersion.
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- Le **laser excimère** (Cymer, Gigaphoton) constitue la plus forte dépendance.
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- Les scanners DUV restent **vendables à la Chine**, ce qui oriente une grande partie de la production.
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- Principaux risques : capacité optiques CaF₂, disponibilité lasers, logistique trans‑Pacifique.
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<!---- AUTO-BEGIN:SECTION-IHH -->
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*(cette section sera remplie automatiquement)*
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<!---- AUTO-END:SECTION-IHH -->
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## Autres informations
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@ -134,7 +145,7 @@ _Total 2024 : ~ 240 DUV scanners (toutes longueurs d’onde) livrés, dont
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| Intégration finale scanners Canon | **Utsunomiya (JP)** | Ligne i‑line / KrF / ArF |
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| Ré‑assemblage & mise en service | **Fabs client** (TSMC, SMIC, UMC, Samsung) | Supervision constructeur |
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## Sources techniques
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