diff --git a/Documents/Connexe/Fiche assemblage photolitographie DUV.md b/Documents/Connexe/Fiche assemblage photolitographie DUV.md index 007b85a..3c3fa46 100644 --- a/Documents/Connexe/Fiche assemblage photolitographie DUV.md +++ b/Documents/Connexe/Fiche assemblage photolitographie DUV.md @@ -1,7 +1,22 @@ +--- +type_fiche: assemblage +produit: Procédé Deep Ultraviolet +schema: ProcedeDUV +version: 1.0 +date: 2025-04-22 +commentaire: Version initiale +auteur: Stéphan Peccini +sources_communes: + - Objectif_final_v0-7.pdf §2 (méthodologie de calcul) + - … +--- +# Fiche {{ type_fiche }} {{ produit }} -# Fiche d’assemblage : Matériels de photolithographie DUV +| Version | Date | Commentaire | +| :-- | :-- | :-- | +| {{ version }} | {{ date }} | {{ commentaire }} | -## Description générale +## Présentation synthétique Les scanners **DUV** (Deep Ultraviolet – 193 nm ArF immersion / 193 nm ArF sec / 248 nm KrF) couvrent les nœuds **28 nm à 7 nm** (couches critiques) et les niveaux moins exigeants. Un ArF immersion de dernière génération (**TWINSCAN NXT:2100i**) compte environ **55 000 pièces**, pèse 115 t et coûte **90 – 140 M€**. @@ -20,7 +35,6 @@ Le flux d’assemblage s’effectue en 4 phases : | **NSR‑S635E (Nikon)** | 193 i | 1,35 | 250 | 2018 – | | **FPA‑3030iR (Canon)** | 193 i | 1,35 | 240 | 2019 – | ---- ## Composants assemblés @@ -36,21 +50,39 @@ Le flux d’assemblage s’effectue en 4 phases : _Coûts indicatifs pour NXT:2100i (2024)._ ---- - -## Principaux assembleurs (livraisons 2024) +```yaml +Assemblage_ProcedeDUV: + PaysBas_Assemblage_ProcedeDUV: + nom_du_pays: Pays-Bas + part_de_marche: 84% + acteurs: + AMSL_PaysBas_Assemblage_ProcedeDUV: + nom_de_l_acteur: ASML + part_de_marche: 84% + pays_d_origine: Pays-Bas + Japon_Assemblage_ProcedeDUV: + nom_du_pays: Japon + part_de_marche: 16% + acteurs: + Nikon_Japon_Assemblage_ProcedeDUV: + nom_de_l_acteur: Nikon + part_de_marche: 12% + pays_d_origine: Japon + Canon_Japon_Assemblage_ProcedeDUV: + nom_de_l_acteur: Canon + part_de_marche: 4% + pays_d_origine: Japon +``` +## Principaux assembleurs + | **Pays d'implantation** | **Entreprise** | **Pays d'origine** | **Part de marché** | | :-- | :-- | :-- | :-- | -| Pays‑Bas | ASML | Pays‑Bas | 84 % | -| **Pays-Bas** | **Total** | **Pays-Bas** | **84 %** | -| Japon | Nikon | Japon | 12 % | -| Japon | Canon | Japon | 4 % | -| **Japon** | **Total** | **Japon** | **16 %** | +*(cette section sera remplie automatiquement)* + _Total 2024 : ~ 240 DUV scanners (toutes longueurs d’onde) livrés, dont 90 % destinés à la Chine._ ---- ## Contraintes spécifiques @@ -62,7 +94,6 @@ _Total 2024 : ~ 240 DUV scanners (toutes longueurs d’onde) livrés, dont | Export‑control | Aucune restriction stricte sur DUV | Chine peut acheter ArF | | Vieillissement laser | Tubes ArF MTTF ≈ 5 Gshots | OPEX source important | ---- ## Logistique et transport @@ -71,7 +102,6 @@ _Total 2024 : ~ 240 DUV scanners (toutes longueurs d’onde) livrés, dont - Délai porte‑à‑porte : **45 jours** (Europe → États‑Unis ou Japon → Corée) - Assurance cargo typique **100 M$** par scanner ---- ## Durabilité et cycle de vie @@ -82,7 +112,6 @@ _Total 2024 : ~ 240 DUV scanners (toutes longueurs d’onde) livrés, dont | Re‑polissage lentilles | Tous les 50 kpl | | Recyclabilité | 75 % masse métallique, CaF₂ recyclage dédié | ---- ## Matrice des risques @@ -99,28 +128,10 @@ _Total 2024 : ~ 240 DUV scanners (toutes longueurs d’onde) livrés, dont - **R4** : Retards fret aérien / maritime ; 18 caisses hors‑gabarit. - **R5** : 84 % des livraisons assurées par un seul acteur (ASML). ---- -## Indice de Herfindahl-Hirschmann (HHI) - -| **IHH** | **Faible** | **Modéré** | **Élevé** | -| :-- | :-- | :-- | :-- | -| **Acteurs** | | | **72** | -| **Pays** | | **73** | | - -*Acteurs* : ASML 84 %, Nikon 12 %, Canon 4 % -*Pays* : Pays‑Bas + Japon dominants. - ---- - -## En résumé - -- **Trois assembleurs** (ASML, Nikon, Canon) mais **ASML domine** le segment ArF immersion. -- Le **laser excimère** (Cymer, Gigaphoton) constitue la plus forte dépendance. -- Les scanners DUV restent **vendables à la Chine**, ce qui oriente une grande partie de la production. -- Principaux risques : capacité optiques CaF₂, disponibilité lasers, logistique trans‑Pacifique. - ---- + +*(cette section sera remplie automatiquement)* + ## Autres informations @@ -134,7 +145,7 @@ _Total 2024 : ~ 240 DUV scanners (toutes longueurs d’onde) livrés, dont | Intégration finale scanners Canon | **Utsunomiya (JP)** | Ligne i‑line / KrF / ArF | | Ré‑assemblage & mise en service | **Fabs client** (TSMC, SMIC, UMC, Samsung) | Supervision constructeur | ---- + ## Sources techniques