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Stéphan Peccini 2025-05-09 07:20:41 +02:00
parent 2f3e577ed4
commit 0f1bb4888b

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@ -1,7 +1,22 @@
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type_fiche: assemblage
produit: Procédé Deep Ultraviolet
schema: ProcedeDUV
version: 1.0
date: 2025-04-22
commentaire: Version initiale
auteur: Stéphan Peccini
sources_communes:
- Objectif_final_v0-7.pdf §2 (méthodologie de calcul)
- …
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# Fiche {{ type_fiche }} {{ produit }}
# Fiche dassemblage : Matériels de photolithographie DUV | Version | Date | Commentaire |
| :-- | :-- | :-- |
| {{ version }} | {{ date }} | {{ commentaire }} |
## Description générale ## Présentation synthétique
Les scanners **DUV** (Deep Ultraviolet  193 nm ArF immersion / 193 nm ArF sec / 248 nm KrF) couvrent les nœuds **28 nm à 7 nm** (couches critiques) et les niveaux moins exigeants. Les scanners **DUV** (Deep Ultraviolet  193 nm ArF immersion / 193 nm ArF sec / 248 nm KrF) couvrent les nœuds **28 nm à 7 nm** (couches critiques) et les niveaux moins exigeants.
Un ArF immersion de dernière génération (**TWINSCANNXT:2100i**) compte environ **55000pièces**, pèse 115t et coûte **90140M€**. Un ArF immersion de dernière génération (**TWINSCANNXT:2100i**) compte environ **55000pièces**, pèse 115t et coûte **90140M€**.
@ -20,7 +35,6 @@ Le flux dassemblage seffectue en 4 phases :
| **NSRS635E (Nikon)** | 193i | 1,35 | 250 | 2018 | | **NSRS635E (Nikon)** | 193i | 1,35 | 250 | 2018 |
| **FPA3030iR (Canon)** | 193i | 1,35 | 240 | 2019 | | **FPA3030iR (Canon)** | 193i | 1,35 | 240 | 2019 |
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## Composants assemblés ## Composants assemblés
@ -36,21 +50,39 @@ Le flux dassemblage seffectue en 4 phases :
_Coûts indicatifs pour NXT:2100i (2024)._ _Coûts indicatifs pour NXT:2100i (2024)._
--- ```yaml
Assemblage_ProcedeDUV:
## Principaux assembleurs (livraisons 2024) PaysBas_Assemblage_ProcedeDUV:
nom_du_pays: Pays-Bas
part_de_marche: 84%
acteurs:
AMSL_PaysBas_Assemblage_ProcedeDUV:
nom_de_l_acteur: ASML
part_de_marche: 84%
pays_d_origine: Pays-Bas
Japon_Assemblage_ProcedeDUV:
nom_du_pays: Japon
part_de_marche: 16%
acteurs:
Nikon_Japon_Assemblage_ProcedeDUV:
nom_de_l_acteur: Nikon
part_de_marche: 12%
pays_d_origine: Japon
Canon_Japon_Assemblage_ProcedeDUV:
nom_de_l_acteur: Canon
part_de_marche: 4%
pays_d_origine: Japon
```
## Principaux assembleurs
<!---- AUTO-BEGIN:TABLEAU-ASSEMBLEURS -->
| **Pays d'implantation** | **Entreprise** | **Pays d'origine** | **Part de marché** | | **Pays d'implantation** | **Entreprise** | **Pays d'origine** | **Part de marché** |
| :-- | :-- | :-- | :-- | | :-- | :-- | :-- | :-- |
| PaysBas | ASML | PaysBas | 84 % | *(cette section sera remplie automatiquement)*
| **Pays-Bas** | **Total** | **Pays-Bas** | **84 %** | <!---- AUTO-END:TABLEAU-ASSEMBLEURS -->
| Japon | Nikon | Japon | 12 % |
| Japon | Canon | Japon | 4 % |
| **Japon** | **Total** | **Japon** | **16 %** |
_Total 2024: ~240DUV scanners (toutes longueurs donde) livrés, dont 90% destinés à la Chine._ _Total 2024: ~240DUV scanners (toutes longueurs donde) livrés, dont 90% destinés à la Chine._
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## Contraintes spécifiques ## Contraintes spécifiques
@ -62,7 +94,6 @@ _Total 2024: ~240DUV scanners (toutes longueurs donde) livrés, dont
| Exportcontrol | Aucune restriction stricte sur DUV | Chine peut acheter ArF | | Exportcontrol | Aucune restriction stricte sur DUV | Chine peut acheter ArF |
| Vieillissement laser | Tubes ArF MTTF ≈5Gshots | OPEX source important | | Vieillissement laser | Tubes ArF MTTF ≈5Gshots | OPEX source important |
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## Logistique et transport ## Logistique et transport
@ -71,7 +102,6 @@ _Total 2024: ~240DUV scanners (toutes longueurs donde) livrés, dont
- Délai porteàporte: **45jours** (Europe →ÉtatsUnis ou Japon →Corée) - Délai porteàporte: **45jours** (Europe →ÉtatsUnis ou Japon →Corée)
- Assurance cargo typique **100M$** par scanner - Assurance cargo typique **100M$** par scanner
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## Durabilité et cycle de vie ## Durabilité et cycle de vie
@ -82,7 +112,6 @@ _Total 2024: ~240DUV scanners (toutes longueurs donde) livrés, dont
| Repolissage lentilles | Tous les 50kpl | | Repolissage lentilles | Tous les 50kpl |
| Recyclabilité | 75% masse métallique, CaF₂ recyclage dédié | | Recyclabilité | 75% masse métallique, CaF₂ recyclage dédié |
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## Matrice des risques ## Matrice des risques
@ -99,28 +128,10 @@ _Total 2024: ~240DUV scanners (toutes longueurs donde) livrés, dont
- **R4** : Retards fret aérien / maritime ; 18caisses horsgabarit. - **R4** : Retards fret aérien / maritime ; 18caisses horsgabarit.
- **R5** : 84% des livraisons assurées par un seul acteur (ASML). - **R5** : 84% des livraisons assurées par un seul acteur (ASML).
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## Indice de Herfindahl-Hirschmann (HHI) <!---- AUTO-BEGIN:SECTION-IHH -->
*(cette section sera remplie automatiquement)*
| **IHH** | **Faible** | **Modéré** | **Élevé** | <!---- AUTO-END:SECTION-IHH -->
| :-- | :-- | :-- | :-- |
| **Acteurs** | | | **72** |
| **Pays** | | **73** | |
*Acteurs*: ASML84%, Nikon12%, Canon4%
*Pays*: PaysBas + Japon dominants.
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## En résumé
- **Trois assembleurs** (ASML, Nikon, Canon) mais **ASML domine** le segment ArF immersion.
- Le **laser excimère** (Cymer, Gigaphoton) constitue la plus forte dépendance.
- Les scanners DUV restent **vendables à la Chine**, ce qui oriente une grande partie de la production.
- Principaux risques: capacité optiques CaF₂, disponibilité lasers, logistique transPacifique.
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## Autres informations ## Autres informations
@ -134,7 +145,7 @@ _Total 2024: ~240DUV scanners (toutes longueurs donde) livrés, dont
| Intégration finale scanners Canon | **Utsunomiya (JP)** | Ligne iline / KrF / ArF | | Intégration finale scanners Canon | **Utsunomiya (JP)** | Ligne iline / KrF / ArF |
| Réassemblage & mise en service | **Fabs client** (TSMC, SMIC, UMC, Samsung) | Supervision constructeur | | Réassemblage & mise en service | **Fabs client** (TSMC, SMIC, UMC, Samsung) | Supervision constructeur |
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## Sources techniques ## Sources techniques